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燃燒式尾氣處理設備
Nitsu是被設計來處理廢氣的燃燒式廢氣處理系統(tǒng)，特別是那些用在IC,TFT LCD和光伏產(chǎn)業(yè)中thin film及dry etching 制程各種尾氣, 尤其針對化學氣相沉積制備的SiH4, NF3和H2的大流量的廢氣。
創(chuàng)新的旋流燃燒器, 反應腔和排氣管的優(yōu)秀比例量達到巨大的處理量，優(yōu)良的減排性能，低排氣溫度和長期穩(wěn)定性。
創(chuàng)新的雙階段防回火裝置提供氣體燃燒器系統(tǒng)的主動保護。
輕松切換CH4或C3H8和自動空氣/燃料比調(diào)節(jié)減少人工調(diào)整的風險。
智能人機界面和自動粉末清潔功能提供簡單操作，更長的維護周期，更短的維修時間，更長的部件壽命和更低的維護成本。
NITSU優(yōu)勢
高安全性
SEMI 系統(tǒng)安全認證: S2-0706:2006, SEMI S8-0307 certified by TUV.
控制回路認證: EN 60204-1 certified by TUV.
安全回路認證: EN954-1硬件連鎖雙安全回路,具失效安全,容錯，自我檢查功能
certified by TUV.
先進燃燒管理系統(tǒng): According to NFPA 86.
真空管道回火保護系統(tǒng): Pumping line flash back protection system.
真空管道側(cè)漏裝置: Pumping line leakage detect system.
全自動系統(tǒng)運行建立與歷史記錄: 1-year huge capacity history record.
節(jié)能高效
現(xiàn)金穩(wěn)定機構系統(tǒng): DRE99%以上, Reliability99%以上, MTBF20000hr Guaranty!
處理量大可選擇機臺互相backup function: 全年免停機
多段式自動節(jié)能控制: 雙瓦斯燃料,依CVD狀態(tài)自動調(diào)整瓦斯及空燃比,節(jié)能50%以上
高效率冷卻系統(tǒng)設計: 高效冷卻, 可減少常務耗能30%以上
燃燒式自動清潔裝置: 標準配備Auto scraper, 燃燒式自動清潔、保養(yǎng)周期長3~16月
先進人機工程設計: 操作簡單,,保養(yǎng)容易快速, 每次約~30 minutes
低成本
低建置成本: 簡化廠務周邊配套工事，省錢省空間.
低運行成本: 集中處理尾氣排氣系統(tǒng)，,低成本高效能,現(xiàn)場不用水,維護保養(yǎng)簡單,設備更換耗材零件少，節(jié)省運行成本