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技術(shù)論壇

燃燒式Scrubber氣體進(jìn)入機(jī)臺(tái)Inlet Buffer之后溫度不足，導(dǎo)致廢氣結(jié)晶管路阻塞；且因Powder阻塞，導(dǎo)致氣動(dòng)閥異常而損壞，無法正常切換，如何改善？

對策：在機(jī)臺(tái)Inlet Buffer處加裝Hot N2，使Pump至Scrubber管路保持一定溫度，使氣體順利進(jìn)入Chamber燃燒處理，增長PM周期。